ВИКОРИСТАННЯ МЕТОДУ СКІНЧЕНИХ ЕЛЕМЕНТІВ ДЛЯ РЕАЛІЗАЦІЇ МОДЕЛІ КОМПЛАНАРНОГО ЄМНІСНОГО СЕНСОРУ
Анотація
У статті наведено результати використання засобів комп’ютерного моделювання для дослідження характеристик сенсорів повітряного зазору з метою їх оптимізації. Дослідження проводилися для компланарного ємнісного сенсора з високопотенціальним, низькопотенціальним та заземленим електродами. Показано доцільність використання засобів комп'ютерного моделювання методами скінченно-елементного аналізу для дослідження метрологічних характеристик сенсорів. Представлено результати отриманих картин розподілу еквіпотенціального поля та функції перетворення сенсору.
