ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ КАЛІБРУВАННЯ РАСТРОВОГО ЕЛЕКТРОННОГО МІКРОСКОПА В НАНОМЕТРОВОМУ ДІАПАЗОНІ ВИМІРЮВАННЯ

Анотація

Запропоновано вдосконалену методику калібрування растрових електронних мікроскопів у діапазоні 10^-9-10^-6 м, яка забезпечує автоматичне визначення масштабного коефіцієнта відеозображення та ефективного діаметру електронного зонда. Запропонована методика дає змогу автоматизувати процес калібрування, підвищити його точність і забезпечити впровадження концепції невизначеності вимірювань.