ВИКОРИСТАННЯ МЕТОДУ СКІНЧЕНИХ ЕЛЕМЕНТІВ ДЛЯ РЕАЛІЗАЦІЇ МОДЕЛІ КОМПЛАНАРНОГО ЄМНІСНОГО СЕНСОРУ
DOI:
https://doi.org/10.15276/eltecs.35.111.2021.10Ключові слова:
генератор; вимірювання; ємнісний сенсор; засоби комп’ютерного моделювання; метод скінченних елементів; функція перетворення; еквіпотенціальне електричне поле.Анотація
У статті наведено результати використання засобів комп’ютерного моделювання для дослідження характеристик сенсорів повітряного зазору з метою їх оптимізації. Дослідження проводилися для компланарного ємнісного сенсора з високопотенціальним, низькопотенціальним та заземленим електродами. Показано доцільність використання засобів комп'ютерного моделювання методами скінченно-елементного аналізу для дослідження метрологічних характеристик сенсорів. Представлено результати отриманих картин розподілу еквіпотенціального поля та функції перетворення сенсору.
