КОМП’ЮТЕРНА НАНОСКОПІЯ – СТАН ТА ПЕРСПЕКТИВИ

  • Антон Сергійович Шантир Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститу
  • Діана Сергіївна Шантир Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститу

Анотація

Наведено огляд та аналіз сучасних засобів наноскопії. Обгрунтовано використання растрових елек-тронних мікроскопів як засобів вимірювання лінійних розмірів нанорозмірних об’єктів. Розглянуто основні засоби та методи оцінювання характеристик точності растрових електронних мікроскопів

Біографії авторів

Антон Сергійович Шантир, Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститу

аспірант

Діана Сергіївна Шантир, Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститу

кандитат технічних наук, доцент

Опубліковано
2019-02-23
Номер
№ 8(84) (2012): Електротехнічні та комп'ютерні системи
Розділ
Комп`ютерні системи, мережі та їх компоненти