ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ КАЛІБРУВАННЯ РАСТРОВОГО ЕЛЕКТРОННОГО МІКРОСКОПА В НАНОМЕТРОВОМУ ДІАПАЗОНІ ВИМІРЮВАННЯ

Автор(и)

  • Антон Сергійович Шантир Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"

Анотація

Запропоновано вдосконалену методику калібрування растрових електронних мікроскопів у діапазоні 10-9-10-6 м, яка забезпечує автоматичне визначення масштабного коефіцієнта відеозображення та ефективного діаметру електронного зонда. Запропонована методика дає змогу автоматизувати процес калібрування, підвищити його точність і забезпечити впровадження концепції невизначеності вимірювань.

Біографія автора

Антон Сергійович Шантир, Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"

аспірант

##submission.downloads##

Опубліковано

2019-02-21

Номер

№ 6(82) (2012): Електротехнічні та комп'ютерні системи

Розділ

Метрологія, стандартізація та сертифікація

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають