ОГЛЯД БУДОВИ ТА ПРИНЦИПУ РОБОТИ ФОКУСНОГО СЕНСОРА
Анотація
Розглянуто стан сучасної фокусної детекції, різні методи принципу фокусування, переваги і недоліки цих методів. Детально проаналізовано принцип роботи фокусного сенсора та його характеристики. Наведено наочний приклад використання фокусного сенсора як нуль-індикатора та переваги його використання над іншими видами сенсорів у нановимірюваннях.
